DPC陶瓷基板及其關鍵技術

對于電子器件而言，通常溫度每升高10°C，器件有效壽命就降低30%~50%。因此，選用合適的封裝材料與工藝、提高器件散熱能力就成為發展功率器件的技術瓶頸。

1. 陶瓷基板材料
良好的器件散熱依賴于優化的散熱結構設計、封裝材料選擇（熱界面材料與散熱基板）及封裝制造工藝等。其中，基板材料的選用是關鍵環節，直接影響到器件成本、性能與可靠性。
目前，陶瓷基板由于其良好的導熱性、耐熱性、絕緣性、低熱膨脹系數和成本的不斷降低，在電子封裝特別是功率電子器件如IGBT（絕緣柵雙極晶體管）、LD（激光二極管）、大功率LED（發光二極管）、CPV（聚焦型光伏）封裝中的應用越來越廣泛。陶瓷基板材料主要有Al2O3、BeO、AlN、Si3N4、SiC等。

1.1 氧化鋁
Al2O3陶瓷基板由于價格低廉、力學性能較好，而且工藝技術純熟，是目前應用為廣泛的陶瓷基板材料。但是Al2O3陶瓷的熱導率相對較低（24 W/(m·K）），在一定程度上限制了其在大功率電子產品中的應用。

1.2 氧化鈹
BeO陶瓷導熱性能優良，綜合性能良好，能夠滿足較高的電子封裝要求，但是其熱導率隨溫度波動變化較大，溫度升高其熱導率大幅下降。

1.3 碳化硅
SiC陶瓷具有很高的熱導率，熱膨脹系數也與Si接近，而且SiC的物理性能較好，具有高耐磨性和高硬度，但是SiC是強共價鍵化合物，燒結溫度高達2000多攝氏度，而且需要加入少量的燒結助劑才能燒結致密，導致SiC陶瓷基板制備能耗大，生產成本較高。

1.4 氮化硅
Si3N4陶瓷的熱導率與抗彎強度較高，能滿足集成電路向高集成化、多層化、輕型化等特性發展，另外Si3N4陶瓷的強度和斷裂韌性較高，耐熱疲勞性能良好，是一種有著良好發展前景的高熱導率高強度陶瓷基板材料。

1.5 氮化鋁
AlN陶瓷作為一種新型的封裝基板材料，具有熱導率高（其理論熱導率可達320 W/(m·K）)、強度高、熱膨脹系數低、介電損耗小、耐高溫及化學腐蝕，而且無毒環保等優良性能，是被國內外一致看好發展前景的一種陶瓷材料。

2.什么是DPC陶瓷基板
DPC又稱直接鍍銅陶瓷基板。其制作首先將陶瓷基片進行前處理清洗，利用真空濺射方式在基片表面沉積Ti/Cu層作為種子層，接著以光刻、顯影、刻蝕工藝完成線路制作，再以電鍍/化學鍍方式增加線路厚度，待光刻膠去除后完成基板制作。

3. DPC基板的優點與不足

3.1 優點

（1）低溫工藝（300℃以下），完全避免了高溫對材料或線路結構的不利影響，也降低了制造工藝成本。

（2）采用薄膜與光刻顯影技術，使基板上的金屬線路更加精細（線寬尺寸20~30μm，表面平整度低于0.3μm，線路對準精度誤差小于±1%），因此DPC基板非常適合對準精度要求較高的電子器件封裝。

3.2 不足

（1）電鍍沉積銅層厚度有限，且電鍍廢液污染大；

（2）金屬層與陶瓷間的結合強度較低，產品應用時可靠性較低；

（3）電鍍生長速度低，線路層厚度有限(一般控制在10μm~100μm)，難以滿足大電流功率器件封裝需求。

4. DPC基板的關鍵技術

4.1 金屬線路層與陶瓷基片的結合強度
由于金屬與陶瓷間熱膨脹系數差較大，為降低界面應力，需要在銅層與陶瓷間增加過渡層，從而提高界面結合強度。由于過渡層與陶瓷間的結合力主要以擴散附著及化學鍵為主，因此常選擇Ti、Cr和Ni等活性較高、擴散性好的金屬作為過渡層(同時作為電鍍種子層)。

4.2 電鍍填孔
電鍍填孔也是DPC陶瓷基板制備的關鍵技術。目前DPC基板電鍍填孔大多采用脈沖電源，其技術優勢包括：易于填充通孔，降低孔內鍍層缺陷；表面鍍層結構致密，厚度均勻；可采用較高電流密度進行電鍍，提高沉積效率。

5. DPC基板的應用

5.1. IGBT封裝
絕緣柵雙極晶體管以輸入阻抗高、開關速度快、通態電壓低、阻斷電壓高等特點，成為當今功率半導體器件發展主流。其應用小到變頻空調、靜音冰箱、洗衣機、電磁爐、微波爐等家用電器，大到電力機車牽引系統等。由于IGBT輸出功率高，發熱量大，因此對IGBT封裝而言，散熱是關鍵。目前IGBT封裝主要采用DBC陶瓷基板，原因在于DBC具有金屬層厚度大，結合強度高(熱沖擊性好)等特點。

5.2 LD封裝

激光二極管(LD)又稱半導體激光器，是一種基于半導體材料受激輻射原理的光電器件，具有體積小、壽命長、易于泵浦和集成等特點。廣泛應用于激光通信、光存儲、光陀螺、激光打印、測距以及雷達等領域。溫度與半導體激光器的輸出功率有較大關系。散熱是LD封裝關鍵。由于LD器件電流密度大，熱流密度高，陶瓷基板成為LD封裝的熱沉材料。

5.3 LED封裝

縱觀LED技術發展，功率密度不斷提高，對散熱的要求也越來越高。由于陶瓷具有的高絕緣、高導熱和耐熱、低膨脹等特性，特別是采用通孔互聯技術，可有效滿足LED倒裝、共晶、COB(板上芯片)、CSP(芯片規模封裝)、WLP(圓片封裝)封裝需求，適合中高功率LED封裝。

5.4 光伏(PV)模組封裝

光伏發電是根據光生伏應原理，利用太陽能電池將太陽光直接轉化為電能。由于聚焦作用導致太陽光密度增加，芯片溫度升高，必須采用陶瓷基板強化散熱。實際應用中，陶瓷基板表面的金屬層通過熱界面材料(TIM)分別與芯片和熱沉連接，熱量通過陶瓷基板快速傳導到金屬熱沉上，有效提高了系統光電轉換效率與可靠性。