什么是微機(jī)電系統(tǒng)？

MEMS是Micro Electro Mechanical Systems的縮寫。它是一種與制造微型設(shè)備相關(guān)的技術(shù)，如傳感器、換能器、執(zhí)行器、齒輪、泵、開關(guān)等。

換句話說，MEMS是微觀集成器件，是電子，電氣和機(jī)械元件的組合，所有這些都使用稱為微系統(tǒng)技術(shù)（MST）的技術(shù)協(xié)同工作以實(shí)現(xiàn)單個(gè)功能要求。

MEMS技術(shù)被認(rèn)為是傳統(tǒng)集成電路（IC）制造的擴(kuò)展形式。傳統(tǒng)IC制造技術(shù)（VLSI）和MEMS之間的主要區(qū)別在于，使用MEMS，您不僅可以制造電容器和電感器等電氣元件，還可以制造齒輪，彈簧，橫梁等機(jī)械元件。使用傳統(tǒng)的IC技術(shù)，您只能制造導(dǎo)體，絕緣體，二極管和晶體管。

什么是MEMS傳感器？

傳感器是當(dāng)今數(shù)字世界的重要組成部分之一。由于所有的計(jì)算和處理都是在數(shù)字信號(hào)上完成的，因此在模擬世界和數(shù)字電子設(shè)備之間應(yīng)該有一個(gè)媒介。傳感器彌合了這一差距，因?yàn)樗鼈冇糜谟^察模擬物理參數(shù)的時(shí)間效應(yīng)并產(chǎn)生有意義的信息（對(duì)計(jì)算機(jī)）。

傳感器的現(xiàn)代定義有時(shí)令人困惑，但簡單來說，傳感器是一種包含基本傳感元件的設(shè)備，這些元件感測(cè)溫度或濕度等物理量并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。傳感器還由信號(hào)處理單元（如放大器、濾波器或 ADC）或這些元件的組合組成。

談到MEMS傳感器，如果傳感器是使用MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)和制造的，那么它被稱為微加工微傳感器或簡稱為MEMS傳感器。

不同類型的MEMS傳感器

MEMS技術(shù)的主要實(shí)施者之一是汽車行業(yè)。現(xiàn)代汽車使用大量傳感器，其中大多數(shù)是基于MEMS的設(shè)備。以下是現(xiàn)代汽車中使用的MEMS傳感器列表。

l 加速度計(jì) – 用于電子穩(wěn)定控制和安全氣囊展開。

l 慣性測(cè)量單元或IMU（它們是MEMS加速度計(jì)和MEMS陀螺儀的組合） - 用于測(cè)量自動(dòng)駕駛的偏航，俯仰和滾動(dòng)。

l 磁力計(jì) – 用于導(dǎo)航中使用的方向。

l 壓力和慣性傳感器 – 用于制動(dòng)控制。

l 壓力傳感器 – 胎壓監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。

l 氣流傳感器 – 進(jìn)氣監(jiān)測(cè)。

l 燃油傳感器 – 燃油液位指示器。

l 碰撞和碰撞傳感器 – 碰撞檢測(cè)和安全氣囊展開。

l MEMS 麥克風(fēng) – 用于通信和降噪。

l 溫度傳感器 – 用于自動(dòng)氣候控制和發(fā)動(dòng)機(jī)溫度監(jiān)控。

l 還有許多其他基于MEMS的器件適用于各種應(yīng)用。

應(yīng)用

MEMS傳感器已經(jīng)用于各種應(yīng)用，如控制和搬運(yùn)設(shè)備，管理機(jī)器人、汽車、夾持器等。您可以在現(xiàn)代噴墨打印機(jī)、彩色投影儀、顯示系統(tǒng)、時(shí)鐘和掃描設(shè)備中找到這些傳感器。

MEMS技術(shù)用于制造不同的傳感器，如壓力、溫度、振動(dòng)和化學(xué)傳感器。

加速度計(jì)，陀螺儀，電子羅盤等是汽車，直升機(jī)，飛機(jī)，無人機(jī)和船舶中常用的MEMS傳感器。

下面提到了基于MEMS的傳感器的一些應(yīng)用領(lǐng)域：

l 汽車

l 化學(xué)和制藥

l 飛機(jī)

l 工業(yè)自動(dòng)化和制造

l 國防、航天和航空

l 環(huán)境與健康科學(xué)

l 計(jì)算與通信

l 消費(fèi)品

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